Schauen in eine ungewisse Zukunft: CNT-Mitarbeiter im Reinraum. Abb.: CNT
Dresden, 24. September 2012. Die Fraunhofer-Gesellschaft (FHG) will das Dresdner Nanoelektronik-Zentrum „CNT“ schließen – dies freilich stößt in der Dresdner Halbleiter-Industrie auf keine Begeisterung. „Wir sind in intensiven Gesprächen mit der Fraunhofer-Gesellschaft und dem Freistaat, um dem CNT eine tragfähige Perspektive zu geben“, betonte die Dresdner Globalfoundries-Sprecherin Karin Raths. Es sei zu früh, über den Ausgang dieser Verhandlungen zu spekulieren. „Deshalb haben uns die Äußerungen des scheidenden Fraunhofer-Präsidenten überrascht.“
Der Chip-Auftragsfertiger gehört neben Infineon zu den wichtigsten Partnern des CNT, das zum Beispiel an größeren Siliziumscheiben, neuen Chip-Belichtungstechniken per Röntgenstrahlen (EUV) und maskenloser Elektronenstrahl-Lithografie forscht. Ursprünglich wurde das CNT 2005 als öffentlich-private Partnerschaft innerhalb der Fraunhofergesellschaft (FHG) im Dresdner Qimonda-Reinraum gegründet. Mit der Pleite des Speicherchip-Herstellers ging 2009 auch der Hauptpartner verloren. Dies machte sich auch im Budget des „Centers für nanoelektronische Technologien“ bemerkbar, das bis 2008 ständig wuchs, danach aber von fast 15 auf inzwischen 8,8 Millionen Euro absackte.
Unterstützung von Infineon
Andererseits zeigte Nachbar Infineon auch stets Interesse an einem Erhalt des Zentrums. Als der Logikchip-Hersteller den Reinraum seiner Ex-Tochter Qimonda – in dem auch die Fraunhofer mit einer 300-mm-Linie residieren – im vergangenen Jahr kaufte, um die eigenen Fertigungskapazitäten in Dresden zu erweitern, sich Geschäftsführer Helmut Warnecke ausdrücklich für einen Verbleib des CNT aus.
Fraunhofer: CNT war von Beginn an befristetes Sondermodell
Nach eigenem Bekunden hat das CNT seit dem Qimonda-Crash neue Kunden gewonnen, arbeitet nicht nur mit GF und Infineon zusammen, sondern auch mit ausrüstern wie Tokyo Elektron und Mittelständlern. Doch das war dem scheidenden FHG-Präsidenten Hans-Jörg Bullinger offensichtlich nicht genug, er hat daher nun die Notbremse gezogen. Der Vorstand werde dem FHG-Senat am 16. Oktober vorschlagen, das CNT zu schließen. Bis dahin werde man natürlich weiter mit Globalfoundries und Infineon verhandeln, betonte FHG-Sprecher Franz Miller. „Das CNT war aber von Anfang an ein befristetes Sondermodell innerhalb der FHG“, sagte Miller auf Oiger-Anfrage. Mache das Zentrum dicht, wolle man die 50 Mitarbeiter in der FHG versetzen und die laufenden Projekte anderswo weiterführen.
CNT-Mitarbeiter hoffen auf Rettung
CNT-Sprecher Peter Felten hofft indes auf eine Rettung des Zentrums – die Ankündigung Bullingers sei aus CNT-Sicht keine endgültige. Heiko Weckbrodt
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