Das CNT arbeitet mit einer 300-mm-Linie im früheren Qimonda-Reinraum – solche Forschungsbedingungen gibt es europaweit sonst nur selten. Abb.: CNT
Dresden, 25. September 2012: Das geplante Aus für das Dresdner Nanoelektronik-Zentrum „CNT“ der Fraunhofer-Gesellschaft (FHG) bleibt umstritten. Nach dem Chip-Riesen Globalfoundries hat sich nun auch Sachsens Wissenschaftsministerin Sabine von Schorlemer (parteilos) für einen Erhalt ausgesprochen.
„Der Freistaat Sachsen wird sich auf jeden Fall dafür einsetzen, dass die inhaltliche Forschungskompetenz des CNT am Standort und die ,Marke CNT‘, die für die hervorragende Reputation seiner Forschungsarbeiten steht, erhalten bleiben – unabhängig davon, ob als selbstständige Einrichtung oder als starker Teil eines anderen Fraunhofer-Instituts“, betonte die Ministerin während eines Mikroelektronik-Symposiums der Verbände Bitkom, VDE und Silicon Saxony in Berlin.
Mikroelektronik von „existenziellem Interesse“ für Deutschland und Europa
Sabine v. Schorlemer. Abb.: Land Sachsen
Von Schorlemer verwies auf die Schlüsselrolle der Mikroelektronik für die gesamte Wirtschaft. „Wir sollten ein gemeinsames existenzielles Interesse daran haben, dass der Mikroelektronikstandort Deutschland in Europa sowohl in der Forschung als auch in der Fertigung erhalten bleibt und sich weiterentwickeln kann. Wir müssen die Vorteile dieses Standorts im globalen Kontext herausarbeiten und sichtbar machen. Dazu müssen alle Partner in Wissenschaft, Wirtschaft und Politik an einem Strang ziehen.“
Betriebskosten sind indes erheblich
Eine direkte Beteiligung am Zentrum erwägt der Freistaat allerdings wohl nicht, denn die Betriebskosten im früheren Qimonda-Reinraum sind erheblich. Das räumt auch CNT-Chef Peter Kücher ein – ein Urgestein der Dresdner Halbleiterbranche, das hier in den 1990er Jahren zum Beispiel das Siemens-Mototola-Gemeinschaftsprojekt für die erste 300-Millimeter-Chipfabrik Europas mit aufbaute. „Wir haben hier eine relativ teure Infrastruktur. Um diese Kosten zu decken, müssen natürlich auch entsprechende Erlöse fließen“, zeigte er Verständnis für die Bedenken der Muttergesellschaft Fraunhofer.
CNT-Chef: Kompetentes Forscher-Team nicht zerstreuen
Peter Kücher. Abb.: CNT
Zugleich warnte Kücher aber davor, die jahrelang aufgebauten Kompetenzen und das Forschungsteam des CNT in alle Winde zu zerstreuen, wie von der FHG im Falle einer Schließung angedacht. „Wir haben hier Alleinstellungsmerkmale, die es anderswo in Europa kaum gibt“, betonte der CNT-Chef. Dies gelte zum Beispiel für den Anlagenpark, der Chips auf 300 Millimeter großen Siliziumscheiben (Wafern) prozessieren könne, aber auch das analytische Know-How im Nanoelektronikzentrum.
Dazu gebe es am Standort eine sinnvolle Ergänzung mit dem Fraunhofer-Institutsteil ASSID in Dresden, das ebenfalls 300-mm-Techik habe, aber auf Chipmontage (Backend) spezialisiert sei. Dieses gebündelte Potenzial sei ein wichtiger Standort-Faktor, unterstrich Kücher. „Letztlich soll Sachsen doch attraktiv für Neuansiedlungen aus der Branche bleiben.“ Die Frage sei nur eben, ob das jemand zu finanzieren bereit sei.
Ministerin irritiert über Bullinger-Ankündigung
Auslöser der Aufregung war der scheidende FHG-Präsident Hans-Jörg Bullinger, der kürzlich angekündigt hatte, das CNT wegen zu geringer Einnahmen von Industriepartnern und anderen Drittmittel-Gebern dicht machen zu wollen. Durch Bullingers Ansage fühlten sich allerdings Vertreter aus Wirtschaft und Politik vor den Kopf gestoßen, die anscheinend bereits seit einiger Zeit um einen Erhalt des CNT mit den Fraunhofer-Leuten verhandeln. „Die Meldung (Bullingers, d. Red.) war mit meinem Haus nicht abgestimmt“, ließ Schorlemer Verärgerung durchblicken. Ähnlich konsterniert hatte sich am Montag bereits Globalfoundries geäußert (Der Oiger berichtete).
Denkbar wäre nun zum Beispiel eine Kompromisslösung: Das CNT etwa an ein anderes Fraunhofer-Institut in Dresden angliedern, den Namen behalten, das Wissenschaftsministerium könnte dem Zentrum Forschungsförderprojekte zusagen, Unternehmen wie Globalfoundries für Aufträge sorgen. Chipwerk-Ausrüster wie Tokyo Elektron, Centrotherm oder ASM haben inzwischen Interesse signalisiert, neue Anlagen zu Evaluierungs- und Testzwecken im CNT aufzubauen, wie Kücher mitteilte. Für eine bessere Auslastung des Reinraums könnten auch Industrieaufträge für Prototypen-Fertigungen sorgen, meint der CNT-Chef. „Zur Großproduktion sind wir hier zwar nicht fähig, aber kleinere Serien sind durchaus denkbar.“ Heiko Weckbrodt
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