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Fraunhofer-Nanozentrum Dresden kooperiert mit Südkoreanern

Foto: Fraunhofer IPMS-CNT

Foto: Fraunhofer IPMS-CNT

Neues Geschäftsfeld Chipwerk-Gerätetests soll Auslastung sichern

Dresden, 14. Januar 2015: Weil das ursprüngliche Geschäftsmodell gescheitert ist, spezialisiert sich das Fraunhofer-Nanoelektronikzentrum CNT in Dresden nun auch auf Reinraum-Tests für Chipfabrik-Analysetechnik. So werden die Fraunhofer-Forscher jetzt ein neues Defekt-Inspektionsgerät für Chipscheiben (Wafer) des südkoreanischen Anlagenherstellers „NEXTIn“ erproben und dessen Marktreife überprüfen. Dies sieht eine Vereinbarung zwischen den Südkoreanern und dem Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Dresden vor, zu dem das CNT inzwischen gehört.

„NextIn“-Analysator spürt Fehler auf Chip-Scheiben auf

„Für uns als Forschungseinrichtung ergeben sich neben der Ausweitung unserer Geschäftsbeziehungen nach Asien auch Synergieeffekte, da solch ein Gerät für die Erforschung und Entwicklung von nanoelektronischen Prozessen von entscheidender Bedeutung ist“, betonte Geschäftsfeldleiterin Dr. Romy Liske. Das Wafer-Inspektionssystem „Aegis I“ von „NextIn“ kombiniert verschiedene bildgebende Fehlersuche-Verfahren, für die bisher separate Geräte nötig waren. Die neue Technik soll die Investitionen der Chipfabrik-Betreiber in die Analysetechnik reduzieren. Geeignet ist das Gerät für Chips, die auf 200 oder 300 Millimeter großen Silizium-Scheiben in der Strukturklasse zwischen 20 und 30 Nanometer (nm = Millionstel Millimeter) hergestellt werden.

Ursprüngliches Konzept seit Qimonda-Pleite passé

Die Fraunhofer-Gesellschaft und der deutsche Speicherchip-Hersteller Qimonda hatten das „Center for Nanoelectronic Technologies“ („CNT“) im Jahr 2005 als Gemeinschaftsunternehmen gegründet, um Chiptechnologien an vorderster Front zu entwickeln. Nach der Qimonda-Pleite Anfang 2009 fiel für das Forschungszentrum der Hauptkunde weg. Es geriet in wirtschaftliche Schwierigkeiten und wurde schließlich 2012 mit 50 Mitarbeitern in das IPMS Dresden integriert und neu profiliert. Autor: Heiko Weckbrodt

Repro: Oiger, Original: Madeleine Arndt

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